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堀場製作所 マスフローコントローラ SEC-400MK2

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商品コード49918
商品名堀場製作所 マスフローコントローラ SEC-400MK2
商品の概要と仕様適用ガス:N2
接ガス部材質:SUS316.バイトンR
バルブ型式:非通電時 開
標準流量レンジ(N2相当F.S.)
・10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM
・1/2/3/5 SLM
流量制御範囲:(SEC):5~100% F.S.
応答速度6秒以内(T98)
流量精度:±2% F.S.
直線性:±1% F.S.
動作差圧(SEC):50~300kPa(d)
使用圧力:300kPa(G)以下
流量設定信号:DC0.25~5V(入力インピーダンス1MΩ以上)/5~100% F.S.
流量出力信号:DC0~5V(最小負荷抵抗2kΩ)/0~100% F.S.
駆動電源:+15VDC ±5% 60mA、-15VDC ±5% 150mA 3.15VA
継手:1/4スウェージロック相当
商品の状態箱入り未使用品のため綺麗です。
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